vnsc威尼斯城网页
vnsc威尼斯城网页

   压电促动器(亚纳米级)

显现全部
vns6060威尼斯城官网

压电促动器(亚纳米级)

高分辨率!亚纳米级压电促动器!

所属种别: »

所属品牌:

技术服务职员:李工(William)

电话:156 1809 2363

邮箱:wentao-li@auniontech.com


8040.com

促动器(亚纳米级)

高分辨率!亚纳米级压电促动器!


AU-DPT、AU-MTP和AU-NPS-Z系列为高分辨率的直线压电陶瓷促动器。在126μm的路程中可到达亚纳米分辨率,而且具有极高的线性度和近乎完善的重复性。该系列压电陶瓷促动器无摩擦,已加载预紧力,补充了叠堆式压电陶瓷不克不及蒙受拉力的缺乏的同时可供应较大的推力,在120μm的路程中可推力可到达600N。

压电促动器、叠堆压电陶瓷促动器、带预紧陶瓷堆叠式压电促动器、柔性机构促动器、Nanopositioning Actuator/Translator

压电促动器采用以加预载力的堆叠式压电陶瓷,在供应较大推力的同时借能够蒙受肯定的压力,补充了堆叠式压电陶瓷不克不及蒙受压力的缺乏。上海昊量光电设备有限公司推出的压电促动器具有极高的分辨率,在126μm的路程中可到达亚纳米分辨率,而且具有极高的线性度和近乎完善的重复性。

上海昊量光电设备有限公司推出的压电陶瓷促动器重要包含以下几类:

①闭环高精度压电陶瓷促动器

闭环压电促动器重要包孕AU-DPT-D、AU-DPT-E、AU-NPS-Z-15B和AU-NPS-Z-15L这几款产物。

AU-DPT-D是一款内置电容反应体系的压电促动器,使其具有亚纳米的分辨率,而且具有极高的线性度和近乎完善的重复性,极低的蠕变特性和迟滞性。AU-DPT-D可供应30/50/70/110μm四种差别的闭环路程,材质为不胀钢(0.35nm/K CTE)具有很好的热稳定性。内置预载力的堆叠式压电陶瓷,在全部路程中可供应高达60kg的挪动质量,而且有较低的电子噪声和下的线性度。另外借供应超高真空版本,事情压强局限可从10 -3  到 10 -10 Torr。




AU-DPT-E是AU-DPT-C的晋级产物,可供应20/50/110μm三种差别路程的版本,取AU-DPT-D机能类似但其具有更小的直径。同时AU-DPT-E系列也供应超高真空版本,事情压强局限可从10 -3 到10 -9 Torr。


vnsc威尼斯城网页

AU-NPS-15L是下荷载大推力的压电陶瓷促动器。该促动器内置电容位移传感器,在齐15μm路程中分辨率可到达亚纳米级别,迟滞性<><>



NPS-Z-15L Ultra High Load Closed Loop 15 Micron Actuator



②开环压电陶瓷促动器

开环压电促动器重要包孕AU-MPT系列,该压电促动器为有预载力的压电陶瓷,不只能够供应较大的推力借能够蒙受肯定的拉力。AU-MTP系列促动器可供应15/30/45/75/105μm五种差别路程装备。接纳不锈钢材质和极高刚度的设想,那一特性使其促动器在Z轴偏向最大加载可到达10kg。若是需求闭环体系,AU-MTP系列促动器能够和位置检测体系联合运用,供应亚纳米的分辨率。



MTP 15/30/45/75/105



③闭环柔性机构促动器

AU-NPS-15B是内置电容位移传感器的具有柔性机构的压电促动器。柔性搭钮导向机构能够去除侧向力,一定程度上制止了侧向力对促动器的损伤。接纳不胀钢材量,具有极佳的热稳定性。该促动器具有极高的分辨率在15μm的路程中分辨率可到达亚纳米级别。内置位移传感器可消弭迟滞性、非线性和蠕变性。该产物通例的迟滞性<><>



NPS-Z-15B Flexure Guided 15 Micron Actuator


u  主要特点
l  多种外径尺寸可供选择
l  亚纳米分辨率
l  加载预载力可静态运用
l  可供应超高真空、硬辐射、高温非磁性和高温版本
l  低的迟滞、蠕变性
l  无摩擦
l  柔性机构导向
l  低噪声、高线度
l  亚纳米重复性

 
u  重要运用
过问器量学、光束校准、空腔调谐、计量学、显微操纵、建造纳米位移装备、器量学等。


u  主要参数


型号

Material

Size(mm)

close/open   loop range

Pressure

Full Range Push/pull Force/max load/N

Position Resolution

AU-DPT-

D-20

Super Invar

54.5(L)´

22(D)

30 mm

40 mm

1ATM

600/250/3500

0.09 nm

AU-DPT-

D-40

Super Invar

72.5(L)´

22(D)

50 mm

66 mm

1ATM

600/250/3500

0.12 nm

AU-DPT-

D-60

Super   Invar

90.5(L)´

22(D)

70   mm

93   mm

1ATM

600/250/3500

0.15   nm

AU-DPT-  

D-100

Super   Invar

126.5(L)´22(D)

110mm

146mm

1ATM

600/250/3500

0.2   nm

AU-DPT-D-20-UHV

Super   Invar

54.5(L)´

22(D)

30   mm

40   mm

10-3   to 10-10Torr

600/250/3500

0.35   nm

AU-DPT-D-40-UHV

Super   Invar

72.5(L)´

22(D)

50   mm

66   mm

10-3   to 10-10Torr

600/250/3500

0.4   nm

AU-DPT-D-60-UHV

Super   Invar

90.5(L)´

22(D)

70   mm

93   mm

10-3   to 10-10Torr

600/250/3500

0.5   nm

AU-DPT-D-100-UHV

Super   Invar

126.5(L)´22(D)

110mm

146mm

10-3   to 10-10Torr

600/250/3500

0.8   nm

AU-DPT-E-20

Super Invar

42.2(L)´20(D)

20 mm

26 mm

1ATM

600/200/3500

0.2 nm

AU-DPT-E-50

Super Invar

76.7(L)´20(D)

50 mm

66 mm

1ATM

600/200/3500

0.3 nm

AU-DPT-E-110

Super Invar

127.8(L)´20(D)

110mm

145mm

1ATM

600/200/3500

0.4 nm

AU-DPT-E-20-UHV

Super Invar

42.2(L)´20(D)

20 mm

26 mm

10-3 to 10-9 Torr

600/200/3500

0.4 nm

AU-DPT-E-50-UHV

Super Invar

76.7(L)´20(D)

50 mm

66 mm

10-3 to 10-9 Torr

600/200/3500

0.6 nm

AU-DPT-E-110-UHV

Super Invar

127.8(L)´20(D)

110mm

145mm

10-3 to 10-9 Torr

600/200/3500

0.8 nm








型号

Material

Size(mm)

open   loop range

Maximum   load

Stack   capacitance (mF)

Stiffness   (N/mm)

AU-MTP-15

Stainless steel

30(L)´10(D)

15 mm

10 kg

1.8

50

AU-MTP-30

Stainless steel

50(L)´10(D)

30 mm

10 kg

3.6

25

AU-MTP-45

Stainless steel

70(L)´10(D)

45 mm

10 kg

5.4

16

AU-MTP-75

Stainless steel

110(L)´10(D)

75 mm

10 kg

9.0

10

AU-MTP-105

Stainless steel

150(L)´10(D)

105 mm

10 kg

12.6

7

         

     型号

         参数



AU-NPS-Z-15B



AU-NPS-Z-15L

Material

Super   Invar (Bright nickel plated)

Super   Invar (Bright nickel plated)

Size   (mm)

53   long x 20 diameter

53.5   height x 60 diameter

Cable   length


2000   mm

Rangetypicalmm

± 8.0

± 8

Resonant   frequency: 0g load

2400   Hz

8000   Hz

Maximum   load

0.5   kg

15   kg

Position noise

/nmrms

Fast

0.56


Medium

0.33

0.3

Slow

0.25

0.2

Hysteresis   (peak to peak)

Minimum



Typical

0.005%

0.02%

Maximum

0.01%

0.03%

Linearity   error (peak)

Minimum



Typical

0.01%

0.01%

Maximum

0.02%

0.02%












 




数据单下载

展现全部 dow.png

讯问表格

* 号为必挖内容
  • *
  • *
  • *
  • *
  • 考证码

vnsc威尼斯城网页

产物标签:压电促动器,叠堆压电陶瓷促动器,带预紧陶瓷堆叠式压电促动器,柔性机构促动器,Nanopositioning Actuator/Translator

数据单下载

* 号为必挖内容
请在下载前填写上面表单
Please fill in the form in before you download
  • *
  • *
  • *
  • *
  • 考证码

预定试用

* 号为必挖内容
请在下载前填写上面表单
Please fill in the form in before you download
  • *
  • *
  • *
  • *
  • 考证码