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   压电马达线性平移台

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压电马达线性平移台

纳米级精度高速大路程压电马达线性平移台!

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技术服务职员:李工(William)

电话:156 1809 2363

邮箱:wentao-li@auniontech.com


纳米级高速大路程马达平移台


AU-XLS系列压电马达线性平移台具有奇特的特性。该平移台是一款兼具大路程和高精度的压电马达位移平台。

该平移台接纳无声的超声波马达,超声波马达是经由过程一个耦合元件抵住挪动导向转子,在高频电流下压电陶瓷促动器被引发发生超声波振动,促动器的变形使耦合元件相对转子发生周期性的对角活动,每一个轮回的进给为几个纳米,高频的旌旗灯号,能够使转子高速的活动。因而AU-XLS系列压电马达平移台的最大速度可到达100mm/s

理论上压电马达平移台的路程仅取决于转子的长度,因而AU-XLS系列位移平台可供应的路程局限可达94mm,接纳线性编码器位置传感器闭环控制,使位移平台的位移分辨率可到达78nm,在知足大路程的同时实现了下的精度。因为压电陶瓷曾经加载了预加力,因而断电以后平移台会有自锁功用,使位移平台仍然连结在原位。如许能够削减了能源的斲丧和产热量,进步了位移平台的精度。

另外,因为该平台接纳模块化设想,因而该平移台能够构成多维位移平台,而且能够供应真空兼容和非磁位移平台。

 

主要特点:

l  大路程 (92mm)

l  高精度(78nm)

l  高速度(100mm/s

l  支撑断电自锁

l  可在真空和非磁情况

重要运用:

l  光电子学

l  扫描电子显微镜

l  半导体消费

l  医学和材料科学

l  生命科学取生物技术学

l  显微镜和计量学

 

产物参数:


AU-XLS

Minimum travel range

19 mm

Maximum travel range:

92 mm

Load capacity

<>

Holding / driving force

~ 1N

Min. step size

500nm [standard encoder] / 78nm [precision   encoder]

Max. speed

400mm/s

Min. speed

1mm/s

Constant speed

+/- 1% at typical scan speed

Lifespan

> 100 km (typical)



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产物标签:压电马达线性平移台,压电马达平移台,纳米级平移台,大路程压电平移台,压电马达微动台,一维压电马达平移台

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