物镜扫描台

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高精度显微镜物镜扫描仪 --- 高精度亚纳米物镜扫描台/定位台!

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高精度显微镜物镜扫描仪

高精度亚纳米物镜扫描台/定位台!


上海昊量推出的物镜扫描台接纳陶瓷曲推,以柔性搭钮为导向使物镜扫描台具有构造松散、体积小、无机器摩擦、定位分辨率高档长处,接纳硅位移传感器,物镜扫描台比拟于传统的电容式位移传感器,物镜扫描台硅传感器使平移台具有更高的精度和线性度和较低的底噪。物镜扫描台的精度能够到达亚纳米,底噪低至10pm。


物镜扫描仪,物镜扫描台,显微镜物镜扫描仪,压电陶瓷扫描台,压电周详定位体系

昊量光电推出的压电平移台是为了知足超周详定位运用的需求。该平移台接纳压电陶瓷驱动,以柔性搭钮为导向使其构造松散、具有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高档长处。接纳硅高精度位移传感器,取电容位移传感器比拟具有更高的精度、线性度和异常低的底噪。因为其具有较下的精度、线性度和较低的底噪等长处,被普遍的应用于超分辨率显微镜,光学捕捉和原子力显微镜等范畴。

上海昊量推出的物镜扫描台重要有AU-FOC和AU-FOCHS.100两款产物。

AU-FOCHS接纳管状设想,专门用于显微镜物镜快速高精度定位。该物镜扫描台可供应路程可到达100μm,精度可到达0.1 nm,谐振频次可到达1175Hz。它由铝、钢和黄铜组成,装备硅传感器,可供应皮米级的稳定性。以上长处使其具有普遍的运用,比方,、主动聚焦等借能够取主动对焦稳固体系联合运用。


AU-FOC是一款专门用于显微镜物镜正确定位的装备。该物镜扫描台可供应100/200/300μm差别路程。该物镜扫描台由铝和黄铜组成,联合硅传感器可供应皮米量级的稳定性。



以上两款物镜扫描台的黄铜安装环能够轻松改换,因而险些所有的物镜皆能够取那两款物镜扫描台联合运用。可用的物镜巨细有RMS, M25, M26, M27 and M32.

 
u  产物特性
l  高分辨率(0.01nm)
l  高速度,谐振频次可达1175Hz
l  接纳硅传感手艺
l  超低底噪
l  柔性搭钮导向


u  重要运用
l  主动聚焦体系
l  共焦显微镜
l  3D成像
l  超区分显微镜
l  半导体计量学



 产物参数:


Unit

AU-FOC

AU-FOCHS

Range   of motion

mm

100

200

300

100

Resolution

nm

0.1

0.2

0.3

0.1

Typical   noise floor

nm

0.01

0.02

0.03

0.01

Full   range repeatability

nm

0.2

0.4

0.6

0.2

Linearization   (typical)


0.02%

Resonant   frequency

Hz

500

350

250

1175

Stiffness

N/mm

0.6

0.4

0.3

3.5

Maximum   load :



horizontal   use

Kg

0.5

vertical   use

Kg

0.5

Sensor


Silicon   HR sensor

Material


Al

Cable   length

m

2

Controller


standard

High speed








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