磁光克尔(MOKE)效应丈量体系

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磁光克尔(MOKE)效应丈量体系

磁光克尔效应丈量体系--下性价比磁光克尔效应丈量体系!

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磁光克尔效应丈量体系

下性价比磁光克尔效应丈量体系!


当一束线偏振光照被磁性介质反射后,反射光的偏振面相关于入射光的偏振里有一个小的角度(克尔扭转角),那一征象被称为磁光克尔效应。厥后那一效应被用来质料磁特性的研讨。磁光克尔效应丈量体系就是一套正确丈量克尔扭转角的装备。磁光克尔效应丈量体系是对极背克尔效应和纵向克尔效应克尔偏转角正确丈量的装备,使得该装备成为研讨磁性薄膜磁特性的丈量东西。普遍的应用于磁性纳米技术、磁性薄膜等磁学范畴。

磁光克尔效应丈量体系以激光作为光源,因为样品磁光克尔效应的磁性旌旗灯号重要来自于光斑照耀的地区,因而磁光克尔效应丈量体系具有优越的局域性,能够实现在微米区域内质料磁特性的研讨。另外以偏振激光束作为“探针”,因而对样品不会形成任何毁伤,实现对样品的无损丈量,那关于需求做屡次丈量的样品黑白常有利的。

磁光克尔效应丈量体系具有极高的灵敏度,对克尔扭转角的探测精度可到达±0.001度。这一点使该装备在磁性薄膜磁特性的研讨中具有主要的职位。应用铁芯电磁特发生外加磁场,能够供应高达25KOe的外加磁场。

磁光克尔效应丈量体系、磁性丈量体系、MOKE system、微米地区克尔磁光效应丈量体系、磁滞回线丈量装配

上海昊量光电设备有限公司的磁光克尔丈量体系重要可分为以下三类:
①  极背丈量磁光克尔效应丈量装备(MOKE磁滞回线丈量体系)
代表产物是BH-810系列。BH-810CPC25WF12磁光克尔效应(MOKE)丈量装备是其中的一款,重要是对12英寸的垂直磁纪录介质磁特性的丈量。能够正确的探测剖析每一个探测点的磁滞回线,该产物运用408nm的固体激光器,光斑直径为1mm,外加磁场可高达25KOe。




磁光克尔(MOKE)效应丈量体系





磁光克尔(MOKE)效应丈量体系
②  背丈量磁光克尔效应丈量装备(MOKE磁滞回线丈量体系)
代表产物BH-618系列。BH-618SK-CA12是一款主动丈量晶圆磁特性和各向异性的磁光克尔丈量体系。能够对12寸的晶圆停止多达400个不同点的磁滞回线的丈量,而且探测效果以成像的情势显现。





③   微地区磁光克尔效应丈量体系(m-kerr system)(极背+纵向,MOKE磁滞回线丈量体系)
代表产物为BH-920系列。取前两款产物比拟, BH-920系列具有更小的激光光斑,能够对微米区域内的磁特性停止研讨。BH-P920-NH是可停止极背的微地区磁光克尔效应丈量体系,该装备具有极高的灵敏度可到达0.001°。取BH-P920-NH比拟BH-PI920不只具雷同的探测灵敏度而且兼具停止极背和纵向丈量。





u  主要特点
l  下机能
l  本钱低
l  下灵敏度(0.001°)
l  下稳定性
l  下外加磁场(25KOe)


u  重要运用
磁性纳米技术、磁性薄膜,磁性材料等磁学范畴


u  丈量项目  

磁滞回线    
X轴:外加磁场强度 H
Y轴:克尔扭转角  qk

经由过程磁滞回线可获得的参数    
矫顽力 Hc
各向异性场 Hk
内禀矫顽力 Hn
饱和磁场强度 Hs
盈余磁化强度 qr
饱和磁化强度 qs


u  产物主要参数:


产品型号

参数

BH-PI920系列

BH-P920-NH

BH-PI920

BH-810CPC25WF12

BH-618SK-CA12

产物特性

微地区丈量体系可知足纵向/极背丈量

极背微地区克尔丈量装配,具有下灵敏度

微地区丈量体系可知足纵向/极背丈量,具有较下的灵敏度

极背磁光克尔效应丈量,对PMR薄膜晶圆的磁特性丈量

纵向磁光克尔丈量体系,可停止多点磁滞回线的丈量

激光光源

半导体激光器(405nm)  



半导体激光器 408nm

半导体激光器(405nm

光斑直径

纵向丈量

约 5mm [1/e2]

1-2mm

2-3mm

1mm

1´2mm

极背丈量

约 2mm [1/e2]

探测灵敏度

± 0.005°

±0.001°

±0.001°

± 0.005°

± 0.005°

探测局限

± 1°





外加磁场强度

极背磁体

    >±10kOe

>±10kOe

极背磁场

>±1.5T

>±25kOe

>±0.2T

里内磁场

>±10kOe

里内磁场

>±1T

可测样品巨细

5´5´1tmm~10´10´1tmm


5´5~10´10mm

t0.5~1mm  

12inch wafer

12inch wafer









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