一维(X轴)压电平移台

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威尼斯vns17200

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一维(X轴)压电平移台

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一维(X轴)压电陶瓷平移台 --- 高精度亚纳米一维压电平移台!

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一维(X轴)陶瓷平移台

高精度亚纳米一维压电平移台!


AU-HS系列一维压电平移台接纳压电陶瓷曲推,一维(X轴)压电平移台以柔性搭钮为导向使其具有构造松散、体积小、无机器摩擦、定位分辨率高档长处,接纳硅位移传感器,一维(X轴)压电平移台比拟于传统的电容式位移传感器,硅传感器使平移台具有更高的精度和线性度和较低的底噪。一维(X轴)压电平移台的精度能够到达亚纳米,底噪低至10pm。


压电平移台,压电陶瓷平移台,压电陶瓷定位台,压电陶瓷微动台,压电陶瓷扫描台,压电周详定位体系

昊量光电推出的压电平移台是为了知足超周详定位运用的需求。该平移台接纳压电陶瓷驱动,以柔性搭钮为导向使其构造松散、具有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高档长处。接纳硅高精度位移传感器,取电容位移传感器比拟具有更高的精度、线性度和异常低的底噪。因为其具有较下的精度、线性度和较低的底噪等长处,被普遍的应用于超分辨率显微镜,光学捕捉和原子力显微镜等范畴。


上海昊量光电推出的一维压电平移台重要有以下几款产物。

①超快一维压电平移台

超快一维压电平移台重要以AU-HS系列为主,该产物是一款松散的压电定位平移台,能够组合成为两维和三维的平移台。该平移台能够供应10μm, 30μm,50μm,70μm,100μm等差别的路程,谐振频次最高可到达7000Hz。

图1、AU-HS压电平移台运用实例


②大路程平移台

SLR平移台是我们推出的路程最大的一款平移台,其路程可到达1500μm,该平移台以柔性搭钮为导向,硅传感器闭环控制,在1500μm的路程中位移分辨率可达1.5nm,反复精度为0.3纳米,底噪低至0.15纳米。而且该平移台能够组装成二维以至三维平移台。



③具有方形孔径的平移台

AU-LF-1具有一个边长为66mm方形孔径的平移台,该平移台可供应100μm,200μm,300μm三种差别的路程。该平移台构造松散异常合适用于需求孔径的平移台而且对体积有要求的运用。




u  产物特性
l  高分辨率(0.01nm)
l  大路程1500μm
l  高速度,谐振频次可达7000Hz
l  接纳硅传感手艺
l  超低底噪
l  柔性搭钮导向


u  重要运用
l  纳米刻蚀
l  过问丈量
l  高速聚焦
l  光学
l  超区分显微镜
l  粒子追踪


u  产物参数:


Unit

HS1.10

HS1.30

HS1.50

HS1.70

HS1.100

LF1.100

LF1.200

LF1.300

SLR.1500

Range of motion

mm

10

30

50

70

100

100

200

300

1500

Resolution

nm

0.01

0.03

0.05

0.07

0.1

0.1

0.2

0.3

1.5

Typical noise floor

nm

0.001

0.003

0.005

0.007

0.01

0.01

0.02

0.03

0.15

Full range repeatability

nm

0.02

0.06

0.1

0.14

0.2

0.2

0.4

0.6

0.3

Linearization (typical)


0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

Resonant frequency

Hz

7000

4000

4000

4000

1500

500

400

300

135

Stiffness

N/mm

5.2

3

3

3

1.1

0.6

0.5

0.4

0.15

Maximum load :



horizontal use

Kg

1

vertical use

Kg

0.5

Sensor


Silicon HR sensor

Material


Al

Cable length

m

2

Controller


Standard or High Speed

Standard







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产物标签:压电平移台,压电陶瓷平移台,压电陶瓷定位台,压电陶瓷微动台,压电陶瓷扫描台,压电周详定位体系

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