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   高分辨率激光干涉仪

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高分辨率激光干涉仪

高分辨率激光干涉仪 便携式、高分辨率、下静态局限激光干涉仪!

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高分辨率激光


便携式、高分辨率、下静态局限激光干涉仪!


超区分剪切干涉仪(High-resolution Interferometer)是一款便携式、下灵敏度、高精度的剖析仪。超区分剪切干涉仪基于波前剖析的四波剪切过问手艺,取传统干涉仪相比较具有构造松散,使用方便,无需标准件,优异的检测稳定性,间接丈量恣意的波前、高分辨率(300x400采样点),3D显现等长处。


关键词:干涉仪、激光干涉仪、球面干涉仪、激光平面干涉仪、过问光刻、传函仪、白光干涉仪、Zygo、波前剖析仪、波前传感器、迈克我逊干涉仪、便携式干涉仪、光学传函仪


超区分激光干涉仪基于便携式、下灵敏度、高精度波前剖析仪。该激光干涉仪接纳四波剪切过问手艺,取传统干涉仪相比较具有构造松散,使用方便,无需标准件,优异的检测稳定性,间接丈量恣意的波前、高分辨率(300x400采样点)、激光波长掩盖400-1100nm、消色差、下静态局限(500um)等长处。

 

超区分剪切干涉仪可用于激光波前检测、激光强度检测、等离子体密度检测、透镜检测、下功率激光、光刻机检测、周详光学元器件检测、光学系统装调、镜头模组检测、传递函数MTF)检测等。法国Phasics公司超区分剪切干涉仪并可及时检测为客户供应优化的数据支撑。


产物特性:

1、间接丈量、无需标准件



图一、检测光路



2、下灵敏度(是一般白光干涉仪的8.4倍)、对振动不敏感


图二 取传统的干涉仪检测效果对照


3、三维立体显现


图三、波前三维检测视图


4、及时显现泽尼克系数


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图四、多阶泽尼克显现界面


5、传递函数(MTF)检测


图五、传递函数检测界面


干涉仪应用领域:


Ø 激光光束机能、波前畸变、M^2、强度等的检测

Ø 红外透镜检测

Ø 激光、、显微、眼科等庞大自适应光学系统波前像差检测

Ø 光刻机物镜检测

Ø 大口径高精度光学元器件检测

Ø 透镜、镜头模组检测

Ø 传递函数丈量

Ø 等离子体密度检测

Ø 下功率激光自适应




产物系列:



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