纳米精度电动升降台

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纳米精度电动升降台

纳米精度,大路程电控升降台!

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高精度电动升降台


电控位移台也称为电控平移台是一种依托步进机电驱动的实行装配,经由过程丝杠将步进机电的角位移转换为平台位移。一般状况下该体系由三局部构成:位移台、机电和控制器。驱动机电及控制器重要决意驱动扭矩、分辨率、加减速度、旌旗灯号处置惩罚等性能参数。位移台则是体系的心脏,重要目标参数有位移精度、路程、负载、稳定性、实用情况等。

上海昊量光电设备有限公司推出的电动升降台传动螺杆接纳滚珠丝杠实现高速安稳活动,极高的螺杆品格使平移台具有极佳的分辨率、定位精度。接纳超高品级交织滚珠导轨+LM滑轨,在确保了升降台,具有超高的活动机能。该体系接纳尺闭环控制,在确保大路程的同时,分辨率到达了10nm。根据定位精度辨别,我司电动升降台可分为 10纳米精度位移台和亚微米精度位移台两品种型。

1)10nm精度电控升降台

该系类电控位移台是具有10nm分辨率的闭环反应定位体系。能够供应沿垂直偏向的周详挪动取定位。其接纳光学线性位置编码器,在供应大路程的同时,使装备具有较下的精度。该产物接纳滚珠丝杠驱动和LM滑轨+交织滚珠导轨导向,确保了升降台的精度及线性度。现在该产物供应5mm和10mm两种差别路程的电控位移台。

2)亚微米分辨率电控升降台

该系类位移平台是指分辨率可到达亚微米精度的周详活动体系。该体系也是光学编码闭环控制,精度可到达50-100nm,可供应5mm和10mm差别路程的电控位移台。

另外这两种版本的升降台可供应真空条件下运用的版本,可实用的的真空前提为10-4Pa,真空度约为10-6 Torr。

 

  • 主要特点

l   高分辨率

l   下反复定位精度

l   接纳滚珠丝杠,实现高精度定位

l   接纳高等级交织滚珠导轨,具有超高活动机能

 

u  重要运用

 

超周详、超周详三维扫描丈量、全自动计量仪器检测装备、产业自动化等范畴。

 

  • 主要参数:

亚微米电控平移台参数:

型号

路程(mm

最大负载(N)

分辨率(nm)

反复定位精度(nm)

最大挪动速度(mm/s)

FC-411

FC-111

FC-411

FC-111

AU-FS-1005Z

5

49

50

100

±100

±200

5

AU-FS-1010Z

10

49

50

100

±100

±200

5


纳米电控平移台参数:

型号

路程(mm

最大负载(N)

分辨率(nm)

反复定位精度(nm)

最大挪动速度(mm/s)

AU-FS-1005PZ

5

49

10

±20

5

AU-FS-1010PZ

10

49

10

±20

5



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产物标签:电动升降台,电控升降台,电动平移台,步进机电平移台,大路程高精度平移台,电动位移台,纳米级电动位移台,电控位移台,电控位移体系,电控平移台

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