DMD无掩膜光刻机

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DMD无掩膜光刻机

高速、广局限、低价钱DMD式无掩膜光刻机!

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DMD无掩膜光刻机

高速、广局限、低价钱DMD式无掩膜光刻机!



 
AU-PALET光刻机是一款松散的DMD式无掩膜光刻机具有高速、广局限、低价钱、高分辨率、操纵简朴和可靠性高档特性。

DMD式无掩膜光刻机无需制造掩膜,接纳DMD数字掩膜,可在抗蚀剂内暴光所期望的恣意图案。无掩膜光刻机能够读取任何CAD数据,除此之外DMD式无掩膜光刻机借能够读取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等别的花样。DMD式无掩膜光刻机运用365nmLED光源,低落价钱的同时实现了稳固的暴光。接纳10倍物镜,一次暴光面积可达1mm´0.6mm,暴光工夫仅需1s。联合电动挪动平台,可实现暴光拼接,分辨率可到达3μm。可经由过程公司编写的软件完成具体设定,使操纵简约轻易。

取传统的光刻机差别,AU-PALET光刻机接纳DMD数字掩膜光刻手艺,无需制造掩膜。大大低落了工夫和本钱。无掩膜光刻机能够读取任何建立的CAD文件,间接停止光刻。除CAD文件,借能够读取雄厚的别的花样的数据,比方Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。


AU-PALET DMD式无掩膜光刻机接纳短波段的LED灯为光源,相对别的的光源,具有更高的稳定性和更长的寿命,低落价钱的同时实现了稳固的暴光。AU-PALET 无掩膜光刻机为里暴光,接纳10倍的物镜,一次暴光面积可到达1mm´0.6mm,联合电动平移台可实现暴光拼接,可到达更大的暴光面积。可经由过程公司编写的软件完成简朴操纵和具体设定,操纵简约轻易。
上海昊量光电推出的DMD无掩膜光刻机光源接纳波长为365nm的LED灯作为光源,比拟于激光大概汞灯,LED光源具有更长的使用寿命稳定性。LED光源的使用寿命可到达10000小时。接纳10´的物镜暴光面积到达1mm´0.6mm,光刻分辨率到达3mm,并在1s 内完成暴光。若装备电动平移台,可完成套刻和光刻拼接,拼接面积可达25mm * 25mm, 而且电动平移台具有,主动聚焦和瞄准功用,使拼接偏差优于0.5μm。


  • 主要特点
    高速度(1s)
    广局限(1´0.6mm)
    365nm LED光源
    高分辨率 (3μm)
    本钱低


  • 重要运用
    磁性薄膜等的恣意外形的图案的构成
    传感器,半导体器件的建造
    MEMS器件的试制、
    光电子,LED的试制
    微流体器件的试制
    掩膜版建造
    细胞星散通道等的建造
    光波导路的建造


  • 主要参数 

型号

AU-PALET_new

光源

365nm LED

光刻分辨率(运用10倍物镜)

3 mm

暴光面积(运用10倍物镜)

1mm´0.6mm

平台

手动XYZq平台

组成

装配自己,电脑, 软件

外形尺寸

300(W) x 450(D) x430(H)

选项

2x镜头,电动平台等






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产物标签:DMD式无掩膜光刻机,无掩膜光刻机,无掩膜暴光机,Maskless Photo-Lithography,数字掩膜光刻机

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