一连镜里 可变形镜

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一连镜里 可变形镜

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下品格、大冲程、低磁滞、MEMS波前校订变形镜!

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一连镜里 可变形镜

下品格、大冲程、低磁滞、MEMS校订变形镜!

 

关键词:变形镜,DM,Deformable Mirror,MEMS,变形反射镜,波前像差,,自适应光学,自适应光学系统,,天文台,MEMS手艺,波前,波士顿,Imagin,微变形反射镜

 

变形镜,又称变形反射镜(DM),重要运用于种种自适应光学系统当中,重要用于校订波前畸变,它由许多驱动单位组合而成,每一个驱动单位皆有本身自力的控制器,在外加电压掌握下,变形镜的镜里能够发生需求的形变量,从而对波前像差停止调制。变形镜在自适应光学系统中起着极为主要的感化,是自适应光学系统中的主要部件之一。DM的目标参数关系到全部自适应光学系统的校订才能和校订精度。微变形反射镜式能够凭据波前调制的需求改动外面里形,从而改正波前相位畸变,凭据反射里的差别变形镜可分为一连外面型和分立外面两品种型。

我们是从法国Joseph Fourier 大学自力出来的,重要研发电磁场驱动的MEMS变形镜(Deformable Mirror),具有异常下的研发气力,能够凭据客户的差别运用需求定制个性化的变形镜。现在变形镜的重要应用领域涵盖了:天文范畴、眼底成像、显微成像、自由空间光通信自适应光学、激光波前校订、天文望远镜、天文观察,天文自适应,大气湍流校订,激光自适应,虹膜定位、波前像差校订,眼科成像、显微成像自适应、球差校订、自由空间光通信等。

现在我们能够消费高达820个驱动数量的变形镜DM波前调制量可达80 µm,外面质量<7 nm="">,接纳现在先辈的抛光工艺,外面粗拙度<1>,变形镜的相应工夫只要500 us,带宽能够到达20 KHzMEMS变形镜能够资助用户实现快速和精准的波前校订。

MEMS变形镜构造松散、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性<>,下线性度> 97%。比拟于MEMS 静电变形镜来讲,电磁驱动变形镜相较于变形镜的长处在于其伟大的变形量,更高的调制精度。

 

MEMS变形镜主要特点技术优势

Ø 80 um 波前调制量

Ø 5 um 相邻驱动调制量(可用于批改初级次大像差波前)

Ø < 7="" nm="" rms="">

Ø MEMS 电磁驱动

Ø ± 1% 下稳定性

Ø 400 us 下相应速度

Ø < 3%="">

Ø < 2%="">

Ø R> 97% 下质量镀膜


图一 相邻驱动调制图


图二 变形镜下外面质量


图三 电磁驱动模子


图四 高阶泽尼克多项式批改


图5 下调制稳定性(±1% over 30s)


图6 下质量镀膜


MEMS变形镜产品型号及参数


MEMS变形镜控制器

MEMS可变形镜配套高压14-bit控制器



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产物标签:变形镜,DM,Deformable Mirror,MEMS,变形反射镜,波前像差,自适应,自适应光学,自适应光学系统,天文,天文台,MEMS手艺,波前,波士顿,Imagin,微变形反射镜

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