大角度微型二维扫描镜

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大角度微型二维扫描镜

微型二维扫描镜,大偏转角度二维光束控制系统! 5359.com

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大角度微型二维扫描镜


微型二维扫描镜,大角度二维光束控制系统!

(注:本产物为客户定制型,如有需求请和昊量光电技术人员详细相同)



AUM3系列光束控制系统是使激光点到点和静态活动的装备。该控制系统接纳机电间接驱动,无伺服发抖。并有自锁设想,可连结在任一位置不需要任何功耗。AUM3光束控制系统具有集成的闭环控制系统,可供应高精度的活动和重复性。内置控制器和驱动,可经由过程尺度串口间接接管体系的掌握。该体系具有能够取MEMS相对抗的松散的体积,但能够供应更宽的活动局限和可接受更大的激光功率。该装备是小体积的,低功耗的易于集成的光束控制系统。

AUM3系列光束控制系统是使激光点到点和静态活动的装备。该控制系统接纳压电机电间接驱动,无伺服发抖。并有自锁设想,可连结在任一位置不需要任何功耗。AUM3光束控制系统具有集成的闭环控制系统,可供应高精度的活动和重复性。内置控制器和驱动,可经由过程尺度串口间接接管体系的掌握。该体系具有能够取MEMS相对抗的松散的体积,但能够供应更宽的活动局限和可接受更大的激光功率。该装备是小体积的,低功耗的易于集成的光束控制系统。


AUM3系列光束控制系统重要包孕以下几种。

①单反射镜二维光束控制系统。该体系包含两个反射镜,并可在正交的方向上自力的活动。该体系的反射镜由压电马达驱动,可供应高达±40°的光束偏转角度,偏转速度可到达5760°/S。单反射镜光束控制系统具有两个角度传感器,角度分辨率可到达0.04°,活动精度可到达0.1°。内置控制器和ICs驱动,使该体系具有松散的体积(20.5 x 10 x 7.8 mm³)。

    


②单反射镜二维光束控制系统。该体系包含一个反射镜、两个压电马达、两个角度传感器、IC驱动和控制器。压电马达间接做用于反射镜的边沿,调治Z偏向的上下,可供应光束偏转的角度到达±19°。比拟于单反射镜光束控制系统,该体系具有更快的相应速度,光束偏转1度只需求0.63毫秒。在每一个活动轴上,皆有一个角度传感器,该控制系统的角度分辨率可到达0.04°,活动精度可到达0.1°。因为运用单反射镜,因而具有更松散的体积(10 x 10 x 5mm),可接受的最大激光光斑可到达3mm。别的该装备镜子的尺寸、外形、材质可选凭据差别的运用。

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③超松散里斯利(Risley)棱镜光束控制系统。包含两个可绕着光轴自力活动的楔形的棱镜。经由过程一连的掌握棱镜的方向来改动光束的偏向,光束的偏转角度可到达±6°道理如下图所示。




该光束控制系统接纳微轴承导向,使每一个棱镜具有极低的发抖和摩擦。压电马达经由过程摩擦棱镜的外侧驱动棱镜,而且无伺服发抖。内置控制器和位置传感器,使该控制器的分辨率可到达0.1°,活动精度可到达0.6°。取以上两品种型的光束控制系统比拟,该体系可接受下功率的激光,可接受的最大激光光斑可到达6mm。



对照以上几款激光器,各有好坏,①单反射镜二维光束控制系统,上风是具有较大的光束偏转角可到达±40°,然则该装备要求光束为平行光束。②单反射镜二维光束控制系统,具有较快的相应速度、较小的体积和质量,可适用于收敛和发散的光束,然则该装备要求入射光必需取镜面成45°,当镜里垂直于Z轴时。③里斯利(Risley)棱镜光束控制系统,能够接管下功率的激光,高效率和同轴的光路,优势是,该体系的相应速度较缓,而且要求棱镜的扭转和光束的偏转角之间的非线性转换。

u  主要特点
²  大偏转角度
²  高精度
²  超松散构造
²  可蒙受大功率激光
²  低功耗

u  重要运用
医学:皮肤激光扫描实现暴光、体内和体外激光手术、荧光显微镜和成像仪的激光源扫描等。
产业:3D打印、3D丈量、光谱学、激光打印、镌刻和加工等。
通信学:自由空间光体系的激光束指向和跟踪、到光纤的光学转换等。

u  主要参数



Two-Mirror M3 Module

Single-Mirror M3 Module

Risley Device M3 Module

Beam Motion

Range of ΘX and ΘY (deg)

+/- 40

+/- 19

+/- 6

Speed (deg/s)

5760

3820

379

Acceleration (deg/s 2 )

1,664,000   

10,000,000

41667

Resolution (deg)

0.04

0.04

0.1

Accuracy (deg)

0.1

0.1

0.6

Maximum Beam Diameter (mm)

2

3

6

Fastest beam stepping time for:

0.1 deg (msec)

0.49   

0.2

4.38

1 deg (msec)

1.55   

0.63

13.86

10 deg (msec)

4.9   

3

61.88

Approx. Module Size (mm)

~ 20 x 10 x 10

~10 x 10 x 5

~ Dia. 16 x 15 Length

Approx. Module Volume (mm 3 )

2000   

500

3000

Controller

Built in

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产物标签:光束控制系统,二维扫描镜,激光扫描振镜,光束转向装配,大角度微型二维扫描镜,微型振镜

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