大镜面尺寸MEMS扫描镜

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大镜面尺寸MEMS扫描镜

无转向节二维MEMS扫描镜,超低功耗,大角度超快二维扫描!

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大镜面尺寸微型扫描镜


光学扫描镜是一种优异的矢量扫描装备,能使入射光束根据特定的体式格局取工夫递次发作反射,从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、本钱下,且多为散装,大大限定了其运用。相较于传统的扫描镜,MEMS扫描镜具有尺寸小、本钱低、扫描频次下、相应速度快和功耗低等长处,以被普遍的运用在光通信、扫描成像、、内窥镜、3D扫描成像等范畴。

根据扫描维度差别,MEMS扫描镜能够分为一维扫描镜和二维扫描镜,一维扫描镜是指在镜里在一个维度内,二维扫描镜是指沿着两个偏向同时对光束停止调治。实现二维扫描,能够选用两个一维的扫描镜,也能够选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功用更壮大,然则构造也更庞大,掌握的难度也就越大。

根据驱动体式格局的差别,MEMS扫描镜能够分为静电驱动、电磁驱动、驱动和电热驱动四种驱动体式格局。电热驱动是,应用电能转换为热能,再转换为机械能驱动,其长处是驱动力和驱动位移较大,然则相应速度较缓。压电驱动是应用压电质料的压电效应实现驱动,具有驱动力大、相应速度快等长处,然则压电质料存在迟滞征象。电磁驱动是应用电磁大概永磁体实现驱动,具有较大的驱动力力和驱动位移,然则相应速度偏偏缓,且轻易遭到电磁滋扰。静电驱动是应用带电导体间的静电作用力实现驱动,具有功耗低、速度快、兼容性好等长处。是现在运用很普遍的驱动体式格局。下图给出了种种驱动体式格局的机能对照


驱动体式格局

速度

幅度

电压

压电驱动

电磁驱动

热驱动

较低

静电驱动

较小


上海昊量推出的微型振镜为电磁驱动。该款MEMS扫描镜具有较大的镜里尺寸,因而选用能够供应更大驱动力的电磁驱动体式格局。上海昊量光电推出的电磁驱动MEMS微型振镜重要分为两款。

 1)一维电磁驱动微型振镜,该款微型振镜的尺寸可到达14.2mm,光学偏转角度可到达±10°。扫描频次最快可到达250Hz。



2)二维电磁驱动微型振镜,其由两个一维MEMS微型振镜构成,可接受的最大激光光斑为8mm,在X和Y偏向的偏角可离别到达±10°。

 

u主要特点:

l大的镜里尺寸(14.2mm)

l大的光学偏角

l下反复精度

l可实现静态扫描形式(受迫振动)


u重要运用:

l激光雷达

l3D位置丈量

l激光打标、镌刻

l光束偏转、扫描


u主要参数:





Single-axis  magnetic mirror

Dual-axes magnetic mirror

Unit

Min

Typ

Max

Min

Typ

Max

Max actuation Current

mA



200



200

Max actuation Power

mW



300



300

Surface finish



AU/AL



AU/AL


Reflectivity (800-2000 nm)

%

95






Mirror Size (round/elliptical)

mm


14.2 /14.2´10




Beam diameter 8 mm

Mirror Flatness (ROC)

m

10



10



Tilt Angle DC (mechanical)

°

±4


±5

±4


±5

Resonance Frequency

Hz

160/200

190/240


200 (X axis )   250 (Y axis)

 



 



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产物标签:微机电扫描镜,MEMS扫描镜,MEMS Mirror,MicroMirror,Microscanner,Micro-scanning Mirror,微振镜,微型振镜

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