非球面透镜应力双折射丈量体系

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非球面透镜应力双折射丈量体系

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不规则非球面光学元件应力散布丈量体系(光刻机透镜丈量等)

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不规则非球面光学元件应力散布丈量体系

(光刻机透镜丈量等)

不规则非球面光学元件(光刻机透镜等)应力散布丈量体系


应用手艺,Hinds 公司的应力双折射丈量体系能够在深紫中(193nm)波段停止应力双折射探测。针对特定质料建造(氟化钙)和特定外形(非球面透镜)有着奇特的手艺解决方案。


应力双折射丈量体系,非球面透镜应力双折射丈量,应力椭偏仪,应力椭偏偏丈量


Hinds 公司的不规则非球面光学元件应力散布丈量体系(应力双折射丈量体系)经由过程对光的调制解调能够测出待测光学元件中的双折射巨细和偏向,这些数据同时也示意了应力的巨细和偏向。Hinds 公司那套不规则非球面光学元件应力散布丈量体系首创的倾斜,多角度入射扫描手艺能够包管对非球面不规则的光学元件(光刻机透镜等)有着完善的扫描丈量解决方案。



产物特性:
1. 全套内置软件主动扫描成图
2. 非球面扫描(手动宏顺序)
3. 应力巨细及偏向散布探测成图
4. 定制种种尺寸外形样品台
5. 最低探测强度:皮瓦


产物参数:
1. 可见光波段探测提早局限:0 to 300+nm
2. 深紫中波段探测提早局限:0 to 90+nm
3. 可见光波段应力探测精度:0.001nm / ±0.03 (up to 3nm, 1% thereafter)
4. 深紫中波段应力探测精度:0.001nm / ± 0.08 nm (up to 4nm, 2% thereafter)




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