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   适用于下功率激光加工的变形镜

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适用于下功率激光加工的变形镜

适用于下功率激光加工的变形镜

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技术服务职员:胡工(Tim)

电话:185 1673 5322

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适用于下功率的变形镜

w针对激光加工运用专门设想的分立镜里MEMS变形镜具有专业的水冷体系取镀膜手艺,大幅进步了毁伤阈值,适用于下功率激光加工体系,可对光学元件带来的像差予以校订,并有用进步激光的光束质量!

 

关键词:变形镜,DM,deformable mirror,MEMS,分立镜里变形镜,分立式变形镜,分立式MEMS变形镜 ,星散镜里变形镜,Discrete MEMS deformable mirror,Iris变形镜,微变形镜,MEMS变形镜,静电变形镜,像差校订、场镜像差校订、F-Theta Lens像差校订

 

适用于下功率激光加工的变形镜

 

在下功率激光邃密加工范畴,光束质量关于加工精度取质量至关重要。一般光束质量的影响重要来自激光器自己的光束质量的颠簸取激光加工体系中光学元器件引入的光学像差。在该范畴,所运用的激光器的腔镜会遭到激光的间接辐照而发生对激光能量的吸取,特别是跟着功率的进步,腔镜吸取的能量也随之增添,腔镜温度降低而产生热变形。腔镜热变形将引发腔内光束的光程发作转变,使得谐振腔的事情参数偏离设想值,从而引发腔内形式发作改动,以致相位高频身分及Zernike高阶像差增大,波前畸变水平也将变大,输出光束质量退化,输出功率下落,从而影响激光微加工的精度和质量。而激光加工体系中的光学元器件所引入的光学像差则不可避免天会致使激光光束质量下落。

 

分立镜里MEMS变形镜,接纳环球抢先的分立镜里混淆外面微加工工艺技术,是美国我们专门为下功率激光邃密加工历程中腔镜热变形和光学器件像差形成的波前畸变停止校订赔偿而开辟的新型封装变形镜器件,是改进下功率激光邃密加工运用中光束质量,供应加工精度取加工质量的有用东西。

 

运用首创MEMS手艺制造的变形镜接纳111个内切孔径3.5或7.0mm的驱动器,37片PTT镜片单位构成蜂窝状阵列。每个镜里单位能够在三个自由度方向上,伸缩,翻倒,倾斜自力掌握。



产物特性和上风:

专业介质镀膜可蒙受下功率激光

配有水冷散热体系,更利于散热并提下产物寿命

配有消灭有机物的洗濯心,制止水冷体系壅塞

体积松散,轻易集成

下性价比


威望测试效果:


1. 环球抢先的激光微加工体系制造商运用紫外脉冲激光器(355nm,15W平均功率,ps脉冲)对AO的新型封装并镀膜的PTT111变形镜停止测试显现:我们变形镜在5W激光功率下测试60小时,10W激光功率下测试70小时,15W激光功率下测试80小时,均没有显现影响光束质量的破坏迹象。在激光功率15W测试时入射到变形镜上的是一束光斑直径约莫1mm的激光。测试显现纵然在更高的功率强度上,变形镜也没有泛起永远破坏的迹象。


2. 另外一位业内抢先的激光加工体系制造商 Raydiance Inc.(http://www.raydiance.com/)公司应用平均功率10W的1550nm脉冲激光器胜利对镀金薄膜的PTT111DM和接纳新型封装PTT111DM停止测试对照。测试显现这类专为激光运用开辟取优化的新封装,进一步增大镀金薄膜变形镜所能蒙受的平均功率。


3. 测试显现分立镜里MEMS变形镜无需热沉就能够蒙受300W/cm2平均功率密度,在停止热沉和改进镀膜后,变形镜能够蒙受3KW/cm2的平均功率密度。关于脉冲激光,变形镜能够蒙受峰值功率密度1.7GW/cm2。在运用新型封装后,变形镜所能蒙受的功率密度进一步增大,而且无损一连工作时间明显延伸。

 

以上测试均注解专业外面介质薄膜和为顺应卑劣情况停止的新型封装对进步变形镜的毁伤阈值取下功率激光下的事情机能异常有用。我们公司下一步将停止1000小时的超长工夫测试,去进一步考证和改进这类新型封装镀膜变形镜的蒙受下功率激光的机能。

 

现在我们因为精彩的研发气力,已赢得了美国国度航空航天局的Phase II SBIR项目资金,用来支撑其进一步生长变形镜在下功率激光器方面的运用。我们将进一步开辟实用更宽波长局限的镀膜手艺,实用从288nm到1600nm激光器,(深紫中准分子激光器到ND:YAG激光器),为激光微加工、激光邃密加工和激光整形行业运用供应优异的波前校订取光斑整形计划。



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