二维压电平移台

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二维压电平移台

二维压电平移台--高精度亚纳米压电陶瓷平移台 --- 高精度亚纳米二维压电平移台!

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二维平移台--高精度亚纳米压电陶瓷平移台

高精度亚纳米二维压电平移台!

上海昊量推出的二维压电平移台接纳压电陶瓷曲推,二维压电平移台以柔性搭钮为导向使其具有构造松散、体积小、无机器摩擦、定位分辨率高档长处,接纳硅位移传感器,二维压电平移台比拟于传统的电容式位移传感器,硅传感器使平移台具有更高的精度和线性度和较低的底噪。二维压电平移台的精度能够到达亚纳米,底噪低至10pm。


压电平移台,压电陶瓷平移台,压电陶瓷定位台,压电陶瓷微动台,压电陶瓷扫描台,压电周详定位体系,二维压电平移台

昊量光电推出的压电平移台是为了知足超周详定位运用的需求。该平移台接纳压电陶瓷驱动,以柔性搭钮为导向使其构造松散、具有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高档长处。接纳硅高精度位移传感器,取电容位移传感器比拟具有更高的精度、线性度和异常低的底噪。因为其具有较下的精度、线性度和较低的底噪等长处,被普遍的应用于超分辨率显微镜,光学捕捉和原子力显微镜等范畴。


上海昊量光电推出的二维压电平移台重要有以下几款产物。

①超快二维压电平移台

超快二维压电平移台有两款AU-LFHS2和AU-LTHS2

AU-LFHS2平移台是一款超快的亚纳米定位平台,能够在X, Y两个方向上供应75μm的路程。在平移台的中央具有一个边长为66mm的方形通光孔,若是需求该平移台能够取Z轴活动的一维平移台集成为三维活动平台。AU-LFHS2是一款快速的位移平台,其两个轴的谐振频次可到达2000Hz,运用高速控制器掌握时,其响应工夫可到达2ms。

AU-LTHS2也是一款超快的平移台,两个轴的谐振频次可到达1000Hz,路程可到达75μm,在压电陶瓷平移台的中央具有一个83*66mm的长方形孔径,该尺寸恰好能够把载玻片安排在该平台上。AU-LTHS2二维压电陶瓷平移台,厚度只要20mm,因而非常轻易集成到倒置显微镜上。

这两款平移台都可合营低分辨率的平移台运用构成高精度平移台。

             
                        

       图1 AU-LFHS2平移台                                                          图2. AU-LTHS2平移台

 

②超薄二维压电平移台

AU-Bio是一款超薄的二维压电平移台,厚度只要15.6mm,它能够集成在任何倒置显微镜上,平移台中央具有一个54*83.6mm矩形通光孔。

AU-LT2也是一款超薄的压电平移台,可供应100/200/300μm差别路程的平移台,因为其超薄的厚度使其能够取种种范例的倒置显微镜合营运用。另外该平台中央具有一个66*66mm的方形孔径。

这两款超薄平移台的材质为Al,若是运用需求也供应不胀钢材量的平移台,如许平移台会具有更好的热稳定性。
              
                       

             图3. AU-Bio平移台                                                          图4. AU-LT2 平移台



③超松散二维压电平移台

AU-C-2.100是一款超松散的亚纳米闭环控制平移台,该平移台两轴可供应100μm的路程,然则其体积只要48.5*48.5*30.3 mm,其松散的设想使其是很多运用的幻想东西,比方:瞄准、单光子聚合和激光写入运用等。

   AU-LF2也是一款松散的平移台,可供应100/200/300μm 三种差别的路程。其中央有一个66*66 mm的方形孔径,异常合适即要求有孔径又对体积有限定的运用。

                  
                     

                图5.AU-C-2.100平移台                                           图6.AU-LF2平移台


产物特性
 高分辨率(0.01nm)
 高速度,自振频次可达2000Hz
 接纳硅传感手艺
 超低底噪
 柔性搭钮导向

 

 重要运用
  纳米刻蚀
  超区分显微镜
  共聚焦显微镜
  光学
  粒子追踪

 
 产物参数:


Unit

AU-LF2

AU-Bio2

AU-LT2

AU-C2.100

AU-LTHS2

AU-LFHS2

Range of motion

mm

100

200

300

100

200

300

100

200

300

100

75

75


Resolution

nm

0.1

0.2

0.3

0.1

0.2

0.3

0.1

0.2

0.3

0.1

0.075

0.075


Typical noise floor

nm

0.01

0.02

0.03

0.01

0.02

0.03

0.01

0.02

0.03

0.01

0.0075

0.0075


Full range repeatability

nm

0.2

0.4

0.6

0.2

0.4

0.6

0.2

0.4

0.6

0.2

0.15

0.15


Linearization (typical)


0.02%

Resonant frequency

Hz

500/300

400/250

300/200

500/400

400/350

300/250

500/400

400/350

300/250

400/250

1500/1000

3000/2000


Stiffness

N/mm

0.6/0.35

0.5/0.3

0.4/0.25

0.6/0.5

0.5/0.4

0.4/0.3

0.6/0.5

0.5/0.4

0.4/0.3

400/250

2/2

4/3


Maximum load :



horizontal use

Kg

1

0.5

0.5

1

vertical use

Kg

0.5

0.1

0.3

0.5

Sensor


Silicon HR sensor

Material


Al

Cable length

m

2

Controller


Standard

 

High speed





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