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   分段式可变形镜

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分段式可变形镜

分段式MEMS可变形镜,一个由制造商供应完好校订的变形镜

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技术服务职员:胡工(Tim)

电话:185 1673 5322

邮箱:yongkang-hu@auniontech.com


分段式MEMS可变形镜,一个由制造商供应完好校订的变形镜,在价钱,尺寸,功耗,耐用性,灵活性,精度,毁伤阈值等方面具有明显上风。


关键词:变形镜,DMdeformable mirrorMEMS,可变形反射镜,可变形镜,PZT陶瓷驱动,磁性变形镜,magnetics actuator


分段式可变形镜

我们消费小型化,基于微机电手艺(MEMS)的变形镜,在价钱,尺寸,功耗,耐用性和灵活性等方面具有明显上风。

我们的产品设计初志便针对大路程,价钱实惠,体积玲珑且具有可扩展性等特性动身,以相符成像应用领域的所有要求。

 

分段式可变形镜手艺

因为光路偏向致使入射发生扭曲,该扭曲能够来自畸变序言,如光学系统取成像物体之间,大概由光学系统自己带来的。 变形镜(DM)经由过程赔偿光路偏向到达校订波前畸变的感化。

我们运用的MEMS手艺消费变形镜。变形镜接纳100500个内切孔径从3.5mm7.7mm的驱动器。下图所示为PTT489变形镜,共489个驱动器构成。因为尺寸小的上风,MEMS变形镜在能够,产业和贸易体系中是合适的选择。



分段式变形镜由严密封装的镜子单位构成的阵列,每个镜子单位能够在三个自由度方向上,伸缩,翻倒,倾斜自力掌握。上图显现怎样安装变形镜阵列,下图列出了Zernike多项式模子下,镜子能够实现润滑形变的外形。

 


除润滑的镜面面型中,变形镜也能发生相位跳变的外形,如相位阵列,菲涅尔反射器,以至。 在涡旋光运用中,研究人员运用PTT111变形镜(111个驱动器,37 PTT单位)发生的涡旋光比运用典范的相位板发生的涡旋更纯洁(以下图示)。因为变形镜是自动元件,只要不超过变形镜路程的涡旋信息皆能够及时读入变形镜,并得到清洁的图样。



分段手艺比一连式变形镜有许多上风。分段式变形镜校订时比任何其他手艺的变形镜更正确。区分于大部分变形镜制造商,我们AO能够校订变形镜所有项目。(我们 AO是一个能够供应完好校订的变形镜体系的制造商)校订后,变形镜能够运用直观的位置下令(piston/tip/tilt)大概Zernike系数设定位置。

我们的变形镜自力单位质量极好,分段间隙异常小,校订很正确,研究人员把AO PTT111变形镜(111个驱动器,37 PTT单位)的机能显示作为其他一连式变形镜的尺度  分立单位变形镜质量云云好,以至于NASA的研究人员正运用AO DMs研发天基千里镜体系,最终将实现探测轨道接近恒星的极小行星 。可见,我们AO分立式变形镜能够用于所有一连变形镜运用的范畴,也能够用于只能用分立式变形镜的运用中。

我们AO手艺的中心上风是能顺应很大的温度转变,能够做种种光学镀膜。现在,活泼范畴是带介质膜的变形镜。测试注解变形镜能够蒙受300W/cm^2平均功率密度而不需要热沉。剖析外面,若是加上热沉和细微改进的镀膜,变形镜能够蒙受3KW/cm^2的平均功率密度。其他测试注解,关于脉冲激光,能够蒙受峰值功率密度1.7GW/cm^2。这些测试数据云云可喜,致使我们AO赢得了国度天然基金的Phase  II SBIR ,进一步生长变形镜在科研和产业激光器方面的运用。

变形镜的运用正稳步增进,我们AO正主动生长变形镜以相符新运用要求。


1.      PTT111 DM体系包孕

*出厂校订过的PTT111-5变形镜             

*Smart Drier Ⅱ驱动器

*PCB界面板

*机器安装台

*接口电缆


PTT111 变形镜可选项:

*大路程:8µm

*高速电脑界面支撑帧频 >6.5kHz

*188-1550nm介质膜

*多少上婚配夏克-哈特曼微透镜阵列 


2. PTT111L DM体系包孕

*出厂校订过的PTT111L-5变形镜

*Smart Drier Ⅱ驱动器

*PCB界面板

*机器安装台

*接口电缆

PTT111L 变形镜可选项:

*大路程:8µm

*高速电脑界面支撑帧频 >6.5kHz

*188-1550nm介质膜

*多少上婚配夏克-哈特曼微透镜阵列


3. PTT489 DM体系包孕

*出厂校订过的PTT489-5变形镜

*Smart Drier Ⅱ-512 USB驱动器

*PCB界面板

*机器安装台

*接口电缆






PTT489 变形镜可选项:

*大路程:8µm

*高速电脑界面支撑帧频 >6.5kHz

*188-1550nm介质膜

*低落阶数的设置:183,255,大概363个驱动器

*多少上婚配夏克-哈特曼微透镜阵列





详细参数


PTT111

PTT111L

PTT489

Number of   segments

37

37

163

Number of   actuators

111

 111 

489

stroke

5 or 8µm

5 or 8µm

5 or 8µm

Tilt angle

±4 or ±6.4 mrad

 

±2 or ±3.2 mrad

 

±4 or ±6.4 mrad

 

Optical coating

Gold, protected-aluminum,protected-silver

Gold, protected-aluminum,protected-silver

Gold, protected-aluminum,protected-silver coating

Open-loop flat surface figure

<20nm>

<20nm>

<30nm>

Inscribed aperture

3.5mm

7.0mm

7.7mm

Mechanical response

<>

<>

<>

Maximum operating temperature

80

80


Drive electronics

Low noise ,14-bit resolution with USB interface

C/C++ interface libraries , MatlabTM compatible   functions

 



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