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   纳米精度电动平移台

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纳米精度电动平移台

纳米精度,大路程电动平移台!

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技术服务职员:李工(William)

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高精度电动平移台


电控位移台也称为电控平移台是一种依托步进机电驱动的实行装配,经由过程丝杠将步进机电的角位移转换为平台位移。一般状况下该体系由三局部构成:位移台、机电和控制器。驱动机电及控制器重要决意驱动扭矩、分辨率、加减速度、旌旗灯号处置惩罚等性能参数。位移台则是体系的心脏,重要目标参数有位移精度、路程、负载、稳定性、实用情况等。

上海昊量光电设备有限公司推出的电动平移台传动螺杆接纳滚珠丝杠实现高速安稳活动,极高的螺杆品格使平移台具有极佳的分辨率、定位精度。接纳超高品级交织滚珠导轨,具有超高的活动机能。该体系接纳尺闭环控制,在确保大路程的同时,分辨率到达了1nm。根据定位精度辨别,我司平移台可分为 1nm高精度位移台、5纳米精度和10纳米精度位移台、亚微米精度位移台。

11nm高精度电控位移台。

该系类位移台可分为谐波齿轮5相步进机电驱动和一般的5相步进机电两品种型的平移台。接纳光栅尺位置反应闭环控制使其分辨率可到达1纳米,反复定位精度可到达±2nm,可供应20mm40mm50mm三种差别的路程,并能够组装成多维电控活动体系。

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25nm精度电控位移台

该系类产品是一款具有5纳米定位精度的闭环控制平移台,可供应 20mm40mm、和50mm三个差别的路程,因为接纳光栅尺位置编码闭环反应掌握,使其具有优异的分辨率、定位精度及反复定位粗镀。


310nm精度电控位移台

该系类电控位移台是具有10nm分辨率的闭环反应定位体系。其接纳光学线性位置编码器,在供应大路程的同时,使装备具有较下的精度。该系类评议台可供应20mm40mm50mm100mm120mm150200mm等差别路程的电控位移台。

4)亚微米分辨率电控位移台

该系类位移平台是指分辨率可到达亚微米精度的周详活动体系。该体系也是光学编码闭环控制,精度可到达50-100nm,可供应20mm40mm50mm100mm120mm150200mm等差别路程的电控位移台,并能够凭据需求构成二维电控平移台。

另外该系列平移台供应在真空条件下的同规格的电控平移台,可蒙受的真空度可到达10-4Pa,相当于10-6 torr的真空度。

 

  • 主要特点

l   高分辨率

l   下反复定位精度

l   接纳滚珠丝杠,实现高精度定位

l   接纳高等级交织滚珠导轨,具有超高活动机能

可供应真空同规格的真空版本平移台

 

  • 重要运用

超周详、超周详三维扫描丈量、全自动计量仪器检测装备、产业自动化等范畴。

 

  • 主要参数

型号

路程(mm)

最大背(N)

分辨率(nm)

反复定位粗(nm)

最大挪动速度(mm/s)

AU-FS-1020 SPXMD

20

49

1

±2

0.4

AU-FS-1040 SPX(MD)

40

49

1

±2

0.5

AU-FS-1050 SPX(MD)

50

98

1

±2

0.5

AU-FS-1020UPX

20

49

1

±2

5

AU-FS-1040UPX

40

49

1

±2

5

AU-FS-1050UPX

50

98

1

±2

5

AU-FS-1020 SPX

20

49

5

±10

5

AU-FS-1040 SPX

40

49

5

±10

5

AU-FS-1050 SPX

50

98

5

±10

5

AU-FS-1020 PX

20

49

10

±20

10-

AU-FS - 1040 PX

40

49

10

±20

10-

AU-FS - 1050 PX

50

98

10

±20

10-

AU-FS-1100 PX

100

98

10

±20

10-

AU-FS-3150PX

150

98

10

±20

10-

AU-FS-3200 PX

200

196

10

±20

20

亚微米精度电控位移台参数:

型号

路程(mm

最大负载(N)

分辨率(nm)

反复定位精度(nm)

最大挪动速度(mm/s)

FC-411

FC-111

FC-411

FC-111

FS-1020X

20

49

50

100

±100

±200

10

FS-1040X

40

49

50

100

±100

±200

10

FS-1050X

50

98

50

100

±100

±200

10

FS-1100X

100

98

50

100

±100

±200

10

FS-3150X

150

98

50

100

±100

±200

10

FS-3200X

200

196

50

100

±100

±200

10



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