桌面型纳米压印机

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桌面型纳米压印机

超松散纳米压印机!

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超松散纳米压印机


光刻手艺实际上是一种周详外面加工手艺,它借助于肯定波长的激光光源和选择性的化学侵蚀和刻蚀手艺把设想的微纳图案转移到硅基板上。然则跟着集成电路功用和密度的提拔传统的光刻手艺曾经难以知足当前对线宽愈来愈小的需求。然则突破衍射极限的大型光刻装备又极为高贵。为了挣脱光学衍射极限和战胜下本钱的限定,一种操纵简朴,本钱昂贵的纳米压印手艺发生了。纳米压印的手艺中心是充分利用机械能将刚性模板上的图案转到抗蚀剂上,以后再借助溶脱、剥离、刻蚀等将图案转移到基板上。到现在为止压印手艺曾经生长出来多种范例,典范的包孕热塑压印手艺、紫外固化压印、微打仗纳米压印、激光辅佐纳米压印和滚轴式纳米压印手艺等。


上海昊量光电设备有限公司推出的纳米压印机AU-CUI为热压印和紫外固化压印装备。


AU-CNI纳米压印机是一款桌面巨细的纳米压印和热压成型的机械。它能够用于微米或纳米构造的压印成型。AU-CNI不只能够停止热压印借能够停止UV压印。

关于热压印起首装备经由过程施加压力使模板取基板严密打仗,加压局限最大可到达11bar,一般根据温度掌握压印历程。温度最高可到达200℃,因为接纳原位及时丈量温度,因而控温精度可到达1℃。

UV暴光接纳4个365nm的LED光源,组合光的功率可到达11.6W,LED的温度被及时检测,具有过热珍爱功用,纵然泛起过热的征象也能够确保暴光剂量准确。


另外装备具有简约的操纵软件。经由过程软件能够掌握压印的温度、压力、暴光工夫等参数。而且能够编纂并存储在该软件中。

AU-CUI其操纵简朴,功能强大,易于实现新的实行和非标准的加工。是纳米压印的完善东西。


u  压印图案



u  产物特性

l   操纵简朴

l   即插即用

l   构造松散

l   多种用处

u  重要运用

l  微米/纳米构造的压印

l  下纵横比构造的压印

l  聚合物的热压印

l  压印模板建造

u  产物参数

Pressure

Imprint pressure from 0.3 - 11 bar overpressure

Temperature

Up to 200ºC with control of +/- 1ºC

UV exposure

UV led light with 365 nm wavelength and optical power of 11600 mW

Vacuum

The imprint chamber can be evacuated down to pressure below 1 mbar

Size of imprint chamber

Diameter of 100 mm and height of 20 mm (can be expanded up to 45   mm)

Automated replication process

1Stamp and   substrate are loaded manually

2Replication   process is fully automated and controlled through CNI software

Software

Full process control and flexibility. Everything besides loading   and unloading is handled by the software

CNI customization

CNI can be modified to meet individual requirements

On-line video instructions

On-line video installation and operation guides

Optional

1Pressure   booster to boost a lab compressed air supply from 3-5 bar to 6-10 bar

2Training   and/or installation by NILT personnel



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产物标签:纳米压印机, 热塑压印机, 紫外固化压印机, 热压式压印机, 压印机,高精度纳米压印机,超松散纳米压印机,纳米压印装备企业,纳米压印机,纳米压印光刻机,纳米压印,紫外纳米压印机,紫外固化纳米压印机,间接纳米压印,热压式纳米压印机,桌面型纳米压印机,新型纳米压印,微型纳米压印机,小型纳米压印机,UV纳米压印, 热塑压印手艺, 紫外固化压印, 微打仗纳米压印, 激光辅佐纳米压印, 滚轴式纳米压印

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